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產(chǎn)品分類 / PRODUCT

關于步進機使用的UV照射設備

更新時間:2024-09-23      瀏覽次數(shù):288

步進曝光機是一種使用步進重復方法進行曝光的投影曝光設備。將曝光區(qū)域分成幾個小部分并一次性曝光這些區(qū)域。曝光完成后,移動到下一個區(qū)域并進行另一次曝光。這稱為步進重復方法,因為該區(qū)域被移動(步進)并重復曝光(重復)。

UV照射設備一般采用超高壓汞燈作為光源。當在晶片或玻璃基板上形成電路時,通過用紫外線照射圖案化的光掩模,將圖案轉(zhuǎn)移到涂有抗蝕劑的基材上。
曝光所需的光線要求均勻度高、角度控制精確、輸出高。為了滿足這個要求,我們使用短弧燈,它是幾千瓦到幾十千瓦的光源,并通過許多光學元件將橢圓鏡聚焦的強紫外光照射到光掩模上。


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